Notions abordées :

• Principe de l’ellipsométrie, ellipsométrie par extinction

• Polarisation de la lumière, identification des axes rapide et lent d’une lame à retard de phase

• Détermination des angles ellipsométriques d’un matériau

• Mesure des indices d’un substrat de silicium (n et k)

• Mesure de l’indice (n) et de l’épaisseur (e) d’une monocouche de SiO2 sur substrat de silicium

• Mesure des indices d’un métal – Aluminium (n et k)

• Mesure des indices du verre (n et k)

• Etude des conséquences d’une variation de l’angle d’incidence sur les indices d’un échantillon

• Etude de l’effet d’un changement de longueur d’onde sur n et e

• Mise en évidence de l’influence d’une erreur de mesure sur les valeurs de n, k et e.